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「净化工程」有什么作用和分类


作者: 来源:http://www.yintaicn.com/ 时间:2019-05-09 点击次数�? �?/span>
  净化工程产品操控如硅芯片等所触摸之大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个杰出之环境空间中出产、制作。此空间的设计施工进程即可称为净化工程净化工程分类乱流式空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器进入洁净室,并由洁净室两边隔间墙板或高架地板。回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状况,此型式适用于洁净室等级。
  长处:结构简略、体系缔形成本低,洁净室的扩大比较简单,在某些特殊用处场所,可并用无尘作业台,进步洁净室等级。缺陷:乱流形成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。别的若体系中止作业再激活,欲达需求之洁净度,往往须耗时适当长一段时间。层流式空气气流运动成一均匀之直线型,空气由掩盖率100%之过滤器进入室内,并由高架地板或两边隔墙板回风。
  此型式适用于洁净室等级需定较高的环境运用,一般其洁净室等级为Class1~100.其型式可分为二种:水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙面之回风体系回风,尘土随风向排出室外,一般在下流侧污染较严峻。长处:结构简略,作业后短时间内即可变成安稳。缺陷:缔造费用比乱流式高,室内空间不易扩大。
  笔直层流式:房间天花板完全以ULPA过滤器掩盖,空气由上往下吹,可得较高之洁净度,在制程中或作业人员所产生的尘土可快速排出室外而不会影响其它作业区域。长处:办理简单,作业开端短时间内即可达安稳状况,不易为作业状况或作业人员所影响。缺陷:结构费用较高,弹性运用空间困难,天花板之吊架适当占空间,修理替换过滤器较费事。
  复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供部分超洁净之空气。洁净地道以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或作业区域100%掩盖使洁净度等级进步至10级以上,可节约装置作业费用。此型式需将作业人员之作业区与产品和机器修理予以阻隔,以防止机器修理时影响作业及质量。ULSI制程大都选用此种型式。

  洁净地道还有二项长处,弹性扩大简单; 修理设备时可在修理区轻易履行。洁净管道将产品流程通过的自动出产线围住并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境彼此阻隔,少数之送风即可得到杰出之洁净度,可节约能源,不需人工的自动化出产线为最适合运用。药品、食品业界及半导体业界均适用。


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